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“深圳四海通光電SHTON”的氣浮隔振系列光學(xué)平臺采用雙氣室隔振系統(tǒng)設(shè)計，可保證豎直和水平固有頻率均保持在2 Hz范圍內(nèi)。臺面由磁性不銹鋼上面板、密封杯、蜂窩桁架以及底板鋼共四層組成。磁性不銹鋼上面板經(jīng)過精密打磨，保證平臺臺面平面度<50 μm/m2，粗糙度<0.8 μm。上面板下密封杯結(jié)構(gòu)可以有效阻止污染物進(jìn)入蜂窩結(jié)構(gòu)，并阻隔蜂窩桁架內(nèi)部氣流。臺面下部為氣動隔振器系統(tǒng)，能夠有效減弱平臺固有頻率以上范圍的振動。隔振系統(tǒng)支架底部帶有腳輪，方便用戶移動光學(xué)平臺。

氣浮隔振系列光學(xué)平臺標(biāo)配靜音空氣壓縮機(jī)，可選臺面厚度為100 mm、200 mm、300 mm，帶磁不銹鋼頂板的厚度為5 mm，表面帶有M6螺紋孔，間距和孔深均為25 mm?！吧钲谒暮Ｍü怆奡HTON”標(biāo)準(zhǔn)氣浮隔振光學(xué)平臺覆蓋900 mm × 600 mm到4000 mm × 1500 mm尺寸的光學(xué)平臺。如需要其他特殊尺寸定制，請聯(lián)系客服。

800 mm

氣浮隔振

≤2 Hz

≤0.05 mm/m2

0.8 μm